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High-temperature MEMS Heater Platforms: Long-term Performance of Metal and Semiconductor Heater Materials

机译：高温mEms加热器平台：金属和半导体加热器材料的长期性能

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Jan Spannhake; Olaf Schulz; Andreas Helwig; Angelika Krenkow; Gerhard Müller; Theodor Doll;
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年度 2015
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1. High-temperature MEMS Heater Platforms: Long-term Performance of Metal and Semiconductor Heater Materials [J] . Andreas Helwig, Angelika Krenkow, Gerhard M#x000FC, Sensors . 2006,第4期

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2. SnO_2:Sb - A new material for high-temperature MEMS heater applications: Performance and limitations [J] . J. Spannhake, A. Helwig, G. Mueller, Sensors and Actuators. B, Chemical . 2007,第2期

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7. High-temperature MEMS Heater Platforms: Long-term Performance of Metal and Semiconductor Heater Materials [O] . Theodor Doll, Gerhard MÃƒÂ¼ller, Angelika Krenkow, 2006

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